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勻膠機技術文章

更新時間:2020-04-15點擊次數(shù):1118

勻膠機 型號:AC200-SE

此款勻膠機共有兩種型號:AC200-SE是標準型號,AC200-PE是型號;AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,這是一種程控伺服型精密勻膠機,可以實現(xiàn)價值百萬美元設備上才能達到的穩(wěn)定性和均勻性。這款設備采用了不銹鋼外殼,更加耐久和美觀;采用了工業(yè)級別的200W的伺服電機系統(tǒng)和與track設備相同的設計和程序,使工藝更具有實際應用意義;AC200在同類產品中**的較先達到5000RPM/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩(wěn)定性和可重復性。

 

主要性能指標

1:主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

2:內腔采用易清潔、耐腐蝕的高分子材料(HDPE

3:旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1

4:旋涂速度:0-10000rpm

5:旋涂加速度:0-50000rpm/s

6:馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpmTN-AC200-SE);<±0.1rpmTN-AC200-PE)

7:轉速調節(jié)精度及重復性:1rpmTN-AC200-SE);0.1rpmTN-AC200-PE)

8AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關壓力調節(jié)和電子水平顯示功能

9:工藝時間設定:0-3000sec/step,時間設置精度:0.1sec

10:支持wafer尺寸:碎片至200mm8''圓晶)

11:旋涂作業(yè)均勻性:<±3%6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米測量)

 

產品特性優(yōu)點

1:**的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸

2: 采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷

3:采用密閉碗設計,可以適應各種材料的勻膠工藝。

4:標準配置的轉速為10000rpm,可以根據(jù)用戶需要進行定制

5:采用工業(yè)級的伺服電機,電機*的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內部

6:機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不生銹,便于清洗。

7:排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部,利于排風效率和勻膠的均一性

8:透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發(fā)。

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