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雙電測數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)文章

更新時間:2022-06-30點擊次數(shù):506

雙電測數(shù)字式四探針測試儀

概述

ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,

動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。

ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,USB通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入;具有零位、滿度

校功能;測試功能可動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成,也可脫PC機由四探針儀器面板上**立操作完成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印!

 

探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。

測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。

詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》點擊進入

ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。

儀器于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,特別是于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測量范圍

電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm

方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□

電  阻:1×10-5~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω

3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)

直    徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限

SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.

長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

測量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表:

(1)量程: 20.00mV~2000mV

(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字

3.4  數(shù)控恒流源

(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A

(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字

3.5  四探針探頭(選配其一或加配全部)

(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)

(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)

3.6 電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗:<20W  

3.7 外形尺寸:

主機  220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)

 

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